半導體
碳化硅陶瓷材料于硅相匹配的熱膨脹系數、耐磨損、耐化學腐蝕,重量輕、彈性模量高以及良好的比剛度和光學加工性能,特別適合用于半導體裝備中使用的精密陶瓷結構件。如碳化硅多孔真空吸盤、碳化硅凸點吸盤、碳化硅拋光盤和承載盤、碳化硅機械手臂、晶舟、碳化硅導軌和支架等。
碳化硅陶瓷材料于硅相匹配的熱膨脹系數、耐磨損、耐化學腐蝕,重量輕、彈性模量高以及良好的比剛度和光學加工性能,特別適合用于半導體裝備中使用的精密陶瓷結構件。如碳化硅多孔真空吸盤、碳化硅凸點吸盤、碳化硅拋光盤和承載盤、碳化硅機械手臂、晶舟、碳化硅導軌和支架等。